為了滿足特殊領域的需要,國外90年代開始推出顯微熱成像系統。由于顯微熱成像屬于放大成像,所要求探測器具有較高的熱靈敏度。因此,國外顯微熱成像系統的核屯、部件大多基于制冷型紅外探測器,該樣的顯微熱成像系統價格昂貴、 功耗大、體積大、重量重。由于以上原因,顯微熱成像產品在國內的推廣應用受到極大的限制。目前只有幾篇關于進口制冷型熱成像顯微鏡的使用報道。
非制冷焦平面探測器具有較高性價比、無需制冷、功耗低、 體積小、重量輕等特性,特別是近年來隨著熱成像技術的發展,非制冷焦平面探測器成本大大降低,促進了在各種領域的應用。現有的一種
顯微熱像儀是基于非制冷紅外焦平面探測器的。因此顯微熱像儀 尚難滿足需要高分辨力圖像質量的顯微熱分析領域的需求。雖然減少頻譜混淆模糊效應來提 高圖像分辨力最直接的辦法是減小探測器單元之間的間距,但高度密集的探測器受到工藝水平的限制,且成本較高。所以如何在現有器件基礎上獲得高分辨力的顯微熱圖像是解決問題 的關鍵。 解決混淆效應的有效方法之一是微掃描技術。微掃描技術是 一種提高熱成像系統空間分辨力的實用技術,通過微掃描技術可提高紅外焦平面探測器的空間采樣頻率,可減小或消除欠采樣對成像的影響,在不增加探測器規模和減小探測器尺寸的 情況下減小混頻效應,提高系統空間分辨力。為此,申請人研制了一種基于光學平板旋轉微 掃描器的高分辨力顯微熱成像系統。其通過光路中傾斜平板的旋轉,獲得2X2微 掃描的圖像,進而經過過采樣重構,獲得高分辨力顯微熱圖像。